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微电子洁净室空气洁净度解决方案

发布时间:2018-07-28

在液晶面板生产过程中,不洁净的空气可能将TFT/LCD生产扼杀于摇篮中。液晶平板显示工业起步于航空工业发展而来的洁净室技术,在一个污染环境中制成的器件会引起许多问题。采用德国EBM马达,配合美国HV滤纸生产的高效过滤器,用于乱流或层流洁净室内,为洁净室输送高洁净度和均匀的气流。先进的生产、严谨的管理、优秀的品质、高效的性能、完善的系统提供全方位净化空气解决方案。以超高的性价比广泛运用于半导体、电子、平板显示、光伏等各行业,满足客户不同净化等级的要求。  

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